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真空鍍膜中薄膜厚度的測量

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真空鍍膜中薄膜厚度的測量

發布日期:2019-04-22 作者:寧波真空鍍鈦生產廠家 點擊:

真空鍍膜中薄膜厚度的測量
        寧波真空鍍鈦隨著科技的進步和精密儀器的應用,薄膜厚度測量方法有很多,按照測量的方式分可以分為兩類:直接測量和間接測量。直接測量指應用測量儀器,通過接觸(或光接觸)直接感應出薄膜的厚度。
常見的直接法測量有:螺旋測微法、精密輪廓掃描法(台階法)、掃描電子顯微法(SEM);

間接測量指根據一定對應的物理關係,寧波真空鍍鈦將相關的物理量經過計算轉化為薄膜的厚度,從而達到測量薄膜厚度的目的。

常見的間接法測量有:寧波真空鍍鈦稱量法、電容法、電阻法、等厚幹涉法、變角幹涉法、寧波真空鍍鈦橢圓偏振法。按照測量的原理可分為三類:稱量法、電學法、光學法。
常見的稱量法有:寧波真空鍍鈦天平法、石英法、原子數測定法;
常見的電學法有:電阻法、電容法、渦流法;
常見的光學方法有:等厚幹涉法、變角幹涉法、光吸收法、橢圓偏振法。

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